Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах
- Sərlövhə:
- Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах
- Müəllif:
- Аббасов Микаил Гуммет оглы
- Nəşr ili:
- 1999
- Kateqoriya:
- Texniki elmlər
- İxtisas kodu:
- 05.27.01
Biblioqrafik təsvir
Аббасов, Микаил Гуммет оглы. Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах: автореферат дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / М. Г. Аббасов; науч. рук. Ф. Д. Касимов; Азербайджанское Национальное Аэрокосмическое Агентство.- Баку, 1999.- 20 с.