Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах
- Title:
- Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах
- Author:
- Аббасов Микаил Гуммет оглы
- Publish year:
- 1999
- Science field:
- Technical sciences
- Specialty code:
- 05.27.01
Bibliographic description
Аббасов, Микаил Гуммет оглы. Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах: автореферат дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / М. Г. Аббасов; науч. рук. Ф. Д. Касимов; Азербайджанское Национальное Аэрокосмическое Агентство.- Баку, 1999.- 20 с.