Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах
- Заголовок:
- Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах
- Автор:
- Аббасов Микаил Гуммет оглы
- Год публикации:
- 1999
- Научная сфера:
- Технические науки
- Код специальности:
- 05.27.01
Библиографическое описание
Аббасов, Микаил Гуммет оглы. Особенности формирования пленок поликристаллического кремния и их применение в интегральных схемах: автореферат дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / М. Г. Аббасов; науч. рук. Ф. Д. Касимов; Азербайджанское Национальное Аэрокосмическое Агентство.- Баку, 1999.- 20 с.