Plazma, plazmaoptik sistemlər və plazma texnologiyası vasitəsilə nazik təbəqələrin alınması
Plazma, plazmaoptik sistemlər və plazma texnologiyası vasitəsilə nazik təbəqələrin alınması
Sərlövhə:
Plazma, plazmaoptik sistemlər və plazma texnologiyası vasitəsilə nazik təbəqələrin alınması
Müəllif:
Məmmədova Gültərkin
Nəşr ili:
2023
Annotasiya:
Monoqrafiyada plazma fizikasının əsasları, plazmada baş verən fiziki proseslər, plazmanın tətbiq sahələri və Fizika İnstitunun "İnfraqırmızı fotoelektronika və plazma hadisələri" laboratoriyasında plazma fizikası istiqamətində aparılmış elmi təqiqat işləri yer almışdır. Bundan əlavə laboratoriyada maqnitron və plazma-ion çokdürülməsi üsulu ilə müxtəlif metal və yarımkeçirici materialların birləşmələrinin nazik təbəqələrinin alınması və onların elektro-fiziki, optik xassələri verilmişdir.
Biblioqrafik təsvir
Məmmədova, Gültərkin Hidayət qızı. Plazma, plazmaoptik sistemlər və plazma texnologiyası vasitəsilə nazik təbəqələrin alınması: monoqrafiya / G. H. Məmmədova; elmi red. S. A. Əliyev; AR ETN Fizika İnstitutu.- Bakı: Füyuzat, 2023.- 240 s.