Plazma, plazmaoptik sistemlər və plazma texnologiyası vasitəsilə nazik təbəqələrin alınması
- Title:
- Plazma, plazmaoptik sistemlər və plazma texnologiyası vasitəsilə nazik təbəqələrin alınması
- Author:
- Məmmədova Gültərkin
- Publication date:
- 2023
- Annotation:
- Monoqrafiyada plazma fizikasının əsasları, plazmada baş verən fiziki proseslər, plazmanın tətbiq sahələri və Fizika İnstitunun "İnfraqırmızı fotoelektronika və plazma hadisələri" laboratoriyasında plazma fizikası istiqamətində aparılmış elmi təqiqat işləri yer almışdır. Bundan əlavə laboratoriyada maqnitron və plazma-ion çokdürülməsi üsulu ilə müxtəlif metal və yarımkeçirici materialların birləşmələrinin nazik təbəqələrinin alınması və onların elektro-fiziki, optik xassələri verilmişdir.
Bibliographic description
Məmmədova, Gültərkin Hidayət qızı. Plazma, plazmaoptik sistemlər və plazma texnologiyası vasitəsilə nazik təbəqələrin alınması: monoqrafiya / G. H. Məmmədova; elmi red. S. A. Əliyev; AR ETN Fizika İnstitutu.- Bakı: Füyuzat, 2023.- 240 s.