Book details

Title:

Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники

Publication date:

2010

Volume:

2

Annotation:

Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов.

Bibliographic description