Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники
- Заглавие:
- Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники
- Год издания:
- 2010
- Том:
- 2
- Аннотация:
- Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов.
Библиографическое описание
Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: учебное пособие
Ч. 2 / В. М. Рощин, М. В. Силибин.- М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010.- 180 с.
Ч. 2 / В. М. Рощин, М. В. Силибин.- М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010.- 180 с.