Микроэлектронные магнито- и газочувствительные элементы на основе пленок поликристаллического кремния
- Title:
- Микроэлектронные магнито- и газочувствительные элементы на основе пленок поликристаллического кремния
- Author:
- Касимова Фарида Фуад кызы
- Publish year:
- 1996
- Science field:
- Technical sciences
- Specialty code:
- 05.27.01
Bibliographic description
Касимова, Фарида Фуад кызы. Микроэлектронные магнито- и газочувствительные элементы на основе пленок поликристаллического кремния: автореферат дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / Ф. Ф. Касимова; науч. рук. Э. К. Гусейнов; Азербайджанское Национальное Аэрокосмическое Агентство.- Баку, 1996.- 20 с.