Микроэлектронные магнито- и газочувствительные элементы на основе пленок поликристаллического кремния
- Заголовок:
- Микроэлектронные магнито- и газочувствительные элементы на основе пленок поликристаллического кремния
- Автор:
- Касимова Фарида Фуад кызы
- Год публикации:
- 1996
- Научная сфера:
- Технические науки
- Код специальности:
- 05.27.01
Библиографическое описание
Касимова, Фарида Фуад кызы. Микроэлектронные магнито- и газочувствительные элементы на основе пленок поликристаллического кремния: автореферат дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / Ф. Ф. Касимова; науч. рук. Э. К. Гусейнов; Азербайджанское Национальное Аэрокосмическое Агентство.- Баку, 1996.- 20 с.