Справочник объединяет сведения по технологиям, механике, материаловедению и надежности. Первая часть- введение в наноструктуры и технологии и изготовления микро- и наноструктур. Вторая часть справочника посвящена МЭМС/НЭМС и БиоМЭМС/БиоНЭМС приборам. Различные типы сканирующей зондовой микроскопии рассмотрены в третьей части. Четвертая часть посвящена обзору нанотрибологии и наномеханики. Обзор смазок на пленках молекулярной толщины представлен в пятой части справочника. Шестая часть знакомит читателя с некоторыми применениями нанотехнологий в промышленном масштабе, седьмая сфокусирована на надежности микроприборов. И, наконец, последняя посвящена технологической конвергенции, которую несут с собой нанотехнологии, в ней также рассмотрены социальные, этические и политические последствия нанотехнологий.
Bibliographic description
Справочник Шпрингера по нанотехнологиям: в 3-х т. / Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МГИЭТ; под ред. Б. Бхушана; пер. с англ. У. Е. Крайновой [и др.]; пер. под ред. А. Н. Саурова; науч. ред. В. Д. Вернер
Т. 2.- М.: Техносфера, 2010.- 1040 с.