Book details

Title:

Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники

Publication date:

2010

Volume:

1

Annotation:

В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами.

Bibliographic description